Bơm khuếch tán

chỉ có thể làm việc khi môi trường đạt độ chân không sơ cấp cần thiết (từ 10−3−10−4 size 12{"10" rSup { size 8{ - 3} } - "10" rSup { size 8{ - 4} } } {}Torr). Để đạt được chân không đó, ban đầu người ta dùng một bơm sơ cấp là bơm chân không cơ học để tạo ra chân không sơ cấp ban đầu. Cấu tạo chính của bơm khuếch tán là một buồng đốt nhiều tầng. Người ta sử dụng buồng đốt để đun sôi một loại dầu (gọi là dầu chân không) có nhiệt độ hóa hơi thấp. Các dòng hơi dầu khi bay hơi lên sẽ hấp phụ các phân tử khí khuếch tán từ môi trường cần tạo chân không cao. Sau khi hấp phụ, dầu được làm lạnh và bị rơi xuống, nhả các phân tử khí theo một đường khác (nhờ hệ bơm cơ học đi kèm) và quay trở lại buồng đốt.

* có ưu điểm là dễ dàng tạo ra chân không với công suất lớn và tốc độ làm việc nhanh (có thể tới vài chục mét khối trong một giây) và có giá thành thấp.

* Điểm kém của bơm khuếch tán là giới hạn làm việc, nó không thể tạo ra các chân không quá lớn (chỉ không quá 10−7 size 12{"10" rSup { size 8{ - 7} } } {} Torr, đạt tới 10−8 size 12{"10" rSup { size 8{ - 8} } } {} Torr là rất khó khăn) và nó đòi hỏi lượng nước làm lạnh rất lớn.